钯是一种银白色贵金属，与铂有着惊人的相似之处。它的熔点为1554°C，密度为12.038克/立方厘米，在1192°C下，蒸汽压力为10-4托.它属于元素周期表上的铂族金属。该组元素的熔点最低，密度最低。钯具有显著的延展性、韧性和耐腐蚀性。像铂一样，它在工业上最突出的用途是催化式排气净化器。它也可以用于珠宝和手术器械。钯在真空下蒸镀，用于制造半导体、传感器和数据存储产品。
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| 材料 | 钯 |
| 化学成分 | Pd |
| 原子量 | 106.42 |
| 原子序数 | 46 |
| 纯度 | 3N5-5N |
| 颜色/外观 | 银色/金属 |
| 导热性 | 72 W/m.K |
| 熔点 (°C) | 1,554 |
| 热膨胀系数 | 11.8 x 10-6/K |
| 理论密度 (g/cc) | 12.038 |
| Z比率 | 0.357 |
| 电子束 | 优秀 |
真空蒸镀是指在真空中通过电流加热，电子束轰击加热和激光加热等方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，它们随即以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜。
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